作为真空泵,干式螺杆真空泵可以用于大部分的真空应用中。但作为干式真空泵中的一员,还在很多行业应用中有着天然的优势,比如:
化工制药、食品制造中的蒸馏、干燥、脱气、包装等,需要防止一些有机溶剂、油气污染的应用,干式螺杆真空泵可以提供更加洁净的真空应用环境。
制药、石油化工行业中的油气回收、有机溶剂回收等,防止回收介质污染、反应或减少分离操作的应用,回收效率更高。
半导体的蚀刻工艺。这些工艺中会产生研磨颗粒以及腐蚀性气体,干式螺杆真空泵没有与其反应的工作介质,同时间隙密封可以容许一定量的颗粒介质通过并排出,因此更加安全适用。
CVD、PECVD等气相沉积应用,防止油气、水蒸气及其他杂质污染产品或与被抽介质发生反应。
无油真空机组中的前级泵,防止油气等返流到高真空端。
在上述这些真空应用中,干式螺杆真空泵因为抽气泵腔无油无水,气体流道通畅,且通过型线间隙密封,转子泵腔之间不产生摩擦接触,与传统的一些真空泵相比,更适应对应的工况,配置简洁,运行效率更高更稳定,从而提升工艺效率与品质。
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